10月中旬，江苏省教育厅公布了2021年度江苏省高校优秀科技创新团队入选名单。我校人工智能学院李淑萍教授领衔的“微纳米加工技术及应用”创新团队喜获立项，成为我校继郁春江教授领衔的“高通量测序数据分析”研究团队之后第二个入选的团队。

“微纳米加工技术及应用”团队依托江苏省纳米加工公共服务平台，长期致力于射频器件、MEMS器件、人工智能芯片和生物芯片等方面的微纳加工技术开发和应用研究，近年来在芯片原子钟物理系统制备技术开发、新型自旋微波器件研究和制备、GaN功率器件和射频器件加工技术开发、MEMS器件研究和制备等方面取得了一系列创新性研究成果，形成自主知识产权。团队开发的微纳米平台加工技术为三星电子、晶方半导体、苏大维格、友达光电等企业提供技术支持，助力地方经济高质量发展。

本次省优秀科技创新团队的成功入选，标志着我校自主科技创新能力的提升。我校将以此为契机，进一步创新科研管理体制，优化科技创新服务，释放科研人员创新活力，充分发挥创新团队的示范、引领和辐射作用，为学校高质量发展贡献更大力量，为服务区域创新驱动发展战略、增强科技创新能力提供有力支撑。

供稿：学术研究中心